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真空鍍膜設備為了與大氣(qì)隔絕,對(duì)於(yú)真空室的各個部件的連接(jiē)處、轉動軸、蓋、大門(mén)、觀察窗、電源、信號(hào)引入端等所有(yǒu)地(dì)方,都應設計有可靠的真空(kōng)密封措施。
真空密封通常(cháng)有可拆密封和不可(kě)拆密封(又稱永久性密封(fēng),包括一些封接、焊接等操作)的區別。而可拆密封就相對比較複雜(zá)一點,包括了靜密封與動密封兩大類形式。
一、靜密封
真空鍍膜室的靜密封是(shì)指(zhǐ)連接件無法做相對運動的一種密(mì)封手段(duàn)。如果(guǒ)隻是在低真空和高真空(kōng)的環境,那可拆(chāi)靜密封的密封材料通常采用具有很大彈性的橡膠(jiāo)。如果是超高真空的(de)環境要求(qiú),那麽可拆靜密封將有所限製(如高(gāo)溫烘烤溫度、材料出氣率等),所以一(yī)般用軟金屬(shǔ)做鍍膜真空室(shì)的密(mì)封材料。
常見的可拆靜密封材料有橡膠密封、金屬密封、氟塑料密封等,此外還包括一些真空法蘭、真空規管接頭等零部件(jiàn)。
二、動密封
鍍膜工藝可能需要將外部的物料傳(chuán)遞到真空室中。對此,真空容器物料傳遞的運動形(xíng)式一般可通過傳動軸的轉動、擺動以及往(wǎng)複直線運動等設計來(lái)實現。
最常見的動(dòng)密封型式是傳(chuán)遞平動和轉動的O形(xíng)圈和填料密封,對於密(mì)封要求高的設備最好選用兩個O形圈來實現,因為這(zhè)種密封方式可確保(bǎo)裝置軸(zhóu)中(zhōng)心準直程度。
1、傳遞軸轉動
這一類的動密(mì)封(fēng)形(xíng)式應用(yòng)最廣的是威爾遜密封,其墊圈孔徑一般設計為軸直徑的0.65倍-0.8倍,再用金(jīn)屬襯墊(diàn)固定(dìng)住墊片邊緣,橡膠墊孔扭曲變形使內(nèi)緣貼緊軸,達到密封效果。該類型密封可用傳動軸直(zhí)徑為1.5mm-70mm,但需要注意軸徑一旦超過(guò)20mm,在設計其結構(gòu)時要知道壓力差的存(cún)在,不會把軸壓到真空室裏麵。傳(chuán)遞軸轉動密(mì)封常用雙墊圈,再於雙墊圈間(jiān)做抽空或注入真空潤滑油脂等措施,以達到真空室密封性能的改善效果。
2、傳(chuán)動(dòng)軸擺(bǎi)動
這一類動密封(fēng)形(xíng)式主要靠膜片的變形或金屬波紋(wén)管來實現(xiàn)傳遞軸的轉動或平移、擺動。該(gāi)類型密封(fēng)形式有密封可靠、耐高溫烘烤(因為材料多是(shì)耐高溫的 膜片或金屬波紋管)等優勢,但是又有價格高、壽命短、位移量小等缺陷。現在主要在超高真空設備中使用。
3、往複直線運動
這一類動密封(fēng)裝置中的O形圈,不管是以外徑還是(shì)內(nèi)徑作滑動密封,裝置壓縮率通常都取10%~12%之間。因為是在拉(lā)伸後安裝O形圈,所以斷麵直徑縮小,導致實際壓縮量也對應縮小,實際壓縮率在拉伸(shēn)後一般(bān)不會(huì)低於8%。
標簽:真空鍍膜電源