漲知識！磁控濺射鍍膜常見故障及解決辦法

   　磁控濺射是物理氣相沉積（Physical Vapor Deposition，PVD）的一種,磁控濺射通過在靶陰極表麵引入磁場，利用磁場對帶電粒（lì）子的約束來提高等離子體密（mì）度以增加濺射率。

　　磁控濺射鍍膜工藝在日常操作（zuò）過程中有哪些常見的故障呢？

　　磁控濺射鍍膜常見故障及解決辦法

　　無法起輝

　　（1）直流電源故障，檢查直流電源；

　　（2）氬氣進氣量小，檢查氬氣流量計或加大氬氣進氣量；

　　（3）真（zhēn）空室清潔度不夠，清潔（jié）真空室；

　　（4）靶材絕（jué）緣度不夠，檢（jiǎn）查靶是否與（yǔ）地短路，在通水的情況（kuàng）下，對地電阻（zǔ）應該在 50kΩ以上；

　　（5）磁場強度不夠，檢查永磁（cí）體（tǐ）是否消磁；

　　（6）真空度（dù）太差，檢查真空係統。

　　輝光不穩

　　（1）電壓電流不穩，檢查電源；

　　（2）真空室壓力不穩，檢查氬氣進氣量及真空係統；

　　（3）電纜故障，檢查電纜是否連（lián）接良好。

　　成膜質量差

　　（1）基（jī）片表麵清潔度差，清潔基片表麵；

　　（2）真空室清潔度差，清潔真空室（shì）；

　　（3）基片溫度過大（dà）或過小，檢查溫控係統，校準熱電（diàn）偶；

　　（4）真空室壓力過（guò）大，檢查真（zhēn）空係統；

　　（5）濺射功率設置不當，檢查直流電源，設置何事的（de）設定功率（lǜ）。

　　濺射速率低

　　（1）氬氣進氣量過大或過（guò）小，觀察輝光（guāng）顏色可以判定氬氣是過大還是過小，據此調整氬氣進氣量；檢修流量計；

　　（2）靶材過（guò）熱，檢查冷卻水流（liú）量；

　　（3）檢查永（yǒng）磁體是否消磁。

　　標簽：直流磁控濺射電源