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偏壓(yā)電源是真空(kōng)電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設備(bèi)中一(yī)個重要(yào)組件(jiàn),在鍍膜工藝流程中為工件(jiàn)提供負(fù)(或正)偏(piān)壓。它在真(zhēn)空離子鍍膜(mó)中,尤其對於多弧離子鍍膜,無論是裝飾鍍還是工具鍍,轟偏電源的好壞對於(yú)成膜質(zhì)量都起著非常(cháng)關鍵的作用。可以有效的提高真空等(děng)離子體內帶電粒子的能(néng)量,轟擊清洗所鍍工件表麵,使工件表麵經受高能(néng)粒子撞擊後得(dé)到嶄新的(de)表層,從而提(tí)高後續沉積膜層的結合力,可以提高並(bìng)控製真空等離子體內帶電粒子的能(néng)量(liàng),提高膜層與工件基體結合力,而(ér)且它可以靠不同的電壓輸出極性(xìng)或方式改變(biàn)沉積規則,調整膜層顏色,做到克服偏壓(yā)電(diàn)源工作於真空等離子體環境中(zhōng),由高電壓引起的(de)陰極(jí)弧光放電燒傷工件的作用。
標簽:脈衝偏壓電源
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