關於偏壓電源的主要特點以及作用（yòng）分（fèn）析

偏壓電源是真空電弧離子鍍及（jí）其它真空物理氣相沉積設備中一（yī）個重要組件，在鍍膜工藝流程中（zhōng）為工件提供（gòng）負（或（huò）正）偏壓。在真空離（lí）子鍍膜中，尤其對於多弧離子鍍膜（mó），無論是裝飾鍍還是工具鍍，轟偏電源的好壞對於成（chéng）膜質量都起著非常關（guān）鍵的作用（yòng）。裝飾鍍和（hé）工具鍍對膜層（céng）質量的要求有相同之處又各有側（cè）重。

脈（mò）衝（chōng）偏壓電源：　　偏壓電源工作於二（èr）級高頻變換模式，單極脈衝方式輸出。電源的電壓調整通過改（gǎi）變高頻變換電路的電源電壓來實（shí）現，調壓電路具有1%的穩率。高頻（pín）變換電路產生（shēng）10-90%脈衝電壓。由於電源的輸出電壓（yā）與脈衝寬度獨立調整，在滿足工藝所需電壓同時，通過改變脈衝寬度來（lái）控工件溫升。電源適用於各類工具（jù）鍍膜及裝飾鍍膜 。

　　作（zuò）用：

　　1）提高真空等離子（zǐ）體內帶電粒子的能量，轟擊清洗所（suǒ）鍍工件表麵，使工（gōng）件表麵經受高能粒子撞擊後得到（dào）嶄新的表層（céng），從而提高後續沉積膜層的結合力（lì）。

　　2）提高並控製真空等（děng）離子體內（nèi）帶電粒子的能量，提（tí）高膜層與工件基體（tǐ）結合力。

　　3）靠不同的電壓輸出極性或方式改變沉積規則，調整（zhěng）膜（mó）層顏色（sè）。

　　4）克服偏壓（yā）電源工作於（yú）真空等離子體環境中，由高電壓（yā）引（yǐn）起（qǐ）的陰極弧光放電燒傷工件

標簽：脈衝偏壓電源