關於脈衝偏壓電源的作用（yòng）講解

偏（piān）壓（yā）電源是（shì）真空電弧離子鍍及其它真空（kōng）物理氣相沉積設備（bèi）中一個重要組件，在鍍膜工藝流程中為工件提（tí）供負（或正）偏壓。

脈衝偏（piān）壓電源：

　　1）提高真（zhēn）空等離子體內帶電粒子的能量，轟擊（jī）清洗（xǐ）所鍍工件表麵，使工件表麵經受高能粒子撞擊後得到嶄（zhǎn）新的表層，從而提高後續沉積膜層的結合力

　　2）提高並控製真空等離子體內帶電（diàn）粒（lì）子的能量，提高（gāo）膜層與工件基體結合力

　　3）靠不同（tóng）的電壓輸出極（jí）性或方式改變沉積規則，調（diào）整膜層顏色

　　4）克服偏壓電源工作於真空（kōng）等離子體環境中，由高電壓引（yǐn）起的陰極弧光放（fàng）電燒傷工件

標簽：脈衝偏壓電源