多功能鍍膜設備及鍍膜方法

目前，真空磁控濺射鍍膜（mó）機、真空蒸發鍍膜機、真空多弧離子鍍膜（mó）機等，真空磁控濺射鍍膜機可在（zài）低溫狀態下進行非金屬材料進行鍍膜，真空蒸發鍍膜機和真空多弧離子鍍膜機屬於高溫鍍膜，適用於金屬材料鍍膜。

　　每種鍍膜機都有各自特點和（hé）使用範圍限製，如需鍍（dù）製多種不同膜層以及進行金屬和非金（jīn）屬（shǔ）材（cái）料的鍍膜，需要購置上述多種真空鍍膜機，存在設備（bèi）投資大的缺點（diǎn）。

　　為了解決（jué）問題，提供一種多功能磁控濺射鍍膜係統。本係統由真空鍍膜（mó）係（xì）統和真空手套箱係統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完（wán）成薄膜蒸鍍（dù），並（bìng）在手套箱高純惰性氣體氛圍（wéi）下進行樣品的存放、製備以（yǐ）及蒸鍍後樣品的檢測（cè）。 多功能磁控濺射（shè）鍍膜係統主要用途：用於製備各種金屬膜、半（bàn）導體膜（mó）、介質膜、磁控膜、光學膜、超導膜、傳（chuán）感膜以及各種特殊需求的功能薄膜。

　　標（biāo）簽：多弧鍍膜電（diàn）源