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真空鍍(dù)膜是一種產生薄膜材料的技術。在真空室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表麵上。
然而(ér),真空鍍膜的先決條件是要確保真(zhēn)空腔室具有(yǒu)良好穩定的真空度。目前,真空鍍膜設備密封形式多采用單根橡(xiàng)膠圈密封,這種密封形式適用於較小密封麵的(de)密(mì)封,對於較大密封麵采用該種密封(fēng)方式容易出現(xiàn)密封效果不佳的問題。
提供一種安全可靠的真空鍍膜設備,本係統由真空鍍膜係統和手套箱係統集成而成,可在高真空蒸鍍(dù)腔(qiāng)室中完成薄膜蒸鍍,並在手(shǒu)套箱高純惰性氣體氛(fēn)圍下進行樣品的存放(fàng)、製備(bèi)以及蒸(zhēng)鍍後樣品的(de)檢測。
蒸發鍍膜與手套箱組(zǔ)合,實(shí)現蒸鍍、封裝、等工(gōng)藝全封閉製作,使整個薄膜生長和器件製(zhì)備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的係統中,消除有機大麵積電路製備過程中(zhōng)大氣環境中不穩(wěn)定(dìng)因素影(yǐng)響,保障了高性能(néng)、大麵積(jī)有(yǒu)機光電器件(jiàn)和電路的製備。
標簽;真空鍍膜電源
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