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真空鍍膜是一(yī)種產生薄膜材料的技術。在真空室內材料的原子(zǐ)從加熱源離析出來打到(dào)被鍍物體的表(biǎo)麵上(shàng)。
然而(ér),真空鍍膜的先決條件是要(yào)確保(bǎo)真空腔室(shì)具有良好穩定的真空度。目前,真空鍍膜設備(bèi)密封形(xíng)式多采用(yòng)單根橡膠圈密(mì)封,這種密封形(xíng)式適用於較小密封麵的密封,對於較大密封麵采用該種密封方式容易出現密封效果不佳(jiā)的問(wèn)題。
提供一種(zhǒng)安全可靠的真空鍍膜設備,本係統由真空鍍膜係統和手套箱係統集成而成,可在(zài)高(gāo)真(zhēn)空蒸鍍腔室中完成(chéng)薄膜蒸鍍,並在手套箱(xiāng)高純惰性氣體(tǐ)氛圍下進行樣品的存放、製備以及蒸鍍後樣品的檢測。
蒸發鍍膜與手套箱組合,實(shí)現蒸鍍、封裝、等工藝全封閉製作,使整個薄膜(mó)生長和器件製備(bèi)過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的係統中,消除有機大麵積電路製備過程中大氣環境中不穩定因素影響,保障了高性能(néng)、大麵積有機光電器件和電路的製備。
標簽:真空(kōng)鍍膜(mó)電源