安全（quán）可靠的真空鍍膜設備

真空鍍（dù）膜是一種產生薄膜材料的技（jì）術。在真空（kōng）室內（nèi）材料的原子從加熱源（yuán）離（lí）析出來打到被鍍物（wù）體的表麵上。

　　然（rán）而，真空鍍膜的先決條件是要確保真空腔室具有良好穩定的真空度（dù）。目前，真空鍍膜設備（bèi）密封形式多采用（yòng）單根橡膠圈密封，這種（zhǒng）密封形式適用於較小密封麵的密封，對於較大密封麵采用該（gāi）種密（mì）封方式容易出現密封效果（guǒ）不佳的（de）問題。

　　提供一種安全可靠的（de）真空鍍膜設備，本係統由真空（kōng）鍍膜係統和手套箱係統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜（mó）蒸鍍，並在（zài）手套箱高（gāo）純（chún）惰性（xìng）氣體氛圍下進行樣品的存放、製備以及蒸鍍後樣品的檢測。

　　蒸（zhēng）發鍍膜與手套箱組（zǔ）合，實現蒸鍍、封（fēng）裝、測試等工藝全封閉製（zhì）作，使整個（gè）薄膜生長和器（qì）件製備過程高度（dù）集成在一個完整的可控環境氛圍的係統中，消除有（yǒu）機大麵積電路製備過程中大氣環境中不穩定因素影響，保障了高性能、大麵（miàn）積有機光電器件和電路的製備。

　　標簽：真空鍍膜電源