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一、概念(niàn)的(de)區別(bié)
1、真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其(qí)蒸發並(bìng)凝結於鍍件(jiàn)(金屬、半導體或絕緣(yuán)體)表麵而形成薄膜的一種方法。例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻(gè)等(děng)。
2、光學鍍膜是指在光學零件表麵上鍍(dù)上一層(或多層)金屬(或介質)薄膜的工藝過程。在(zài)光學(xué)零件表麵鍍膜的目的是為了達到(dào)減少或(huò)增加光的反射、分束、分色、濾光(guāng)、偏(piān)振等要求。常用(yòng)的鍍膜法有真空鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學鍍膜。
二、原理的(de)區別
1、真空鍍膜是真空應用領域的一個重要(yào)方麵,它是以真空技術為基礎(chǔ),利用物理或化學方法,並吸(xī)收(shōu)電子束、分子束、離(lí)子束、等離子束、射頻和磁控等(děng)一係列新技術,為科學研究和(hé)實際生產提供薄膜製備的一種新工藝。簡單地說,在真(zhēn)空中把金屬、合金或化合物進行蒸發或濺射(shè),使其在被塗覆的物體(稱基板、基片或基(jī)體)上凝固並沉(chén)積的方法。
2、光的幹涉在薄膜光學中廣泛應(yīng)用。光學薄膜技術的普遍方法(fǎ)是借助真空(kōng)濺射的方式在玻璃基板上塗鍍薄膜,一般用來控製基板對入射(shè)光束的反射率和透過率,以滿足不同的需要。為了消除光(guāng)學零件表(biǎo)麵(miàn)的反射損失,提高成像質量,塗鍍一層或多層透明介質膜(mó),稱為增透膜或減反射(shè)膜。
隨著激光(guāng)技術的發(fā)展,對膜層的反射率和透過率有不(bú)同的要求,促進了多層高反射膜和寬帶增透(tòu)膜的發展。為各種應用需要,利用高反射(shè)膜製造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和幹涉(shè)濾光片等。光(guāng)學零件表麵鍍膜後,光在膜層層上多次反射和透射,形成多(duō)光束幹涉,控製膜層的折射(shè)率和厚(hòu)度,可以得到不同的強度分布,這是幹涉鍍膜的基本原理。
三、方法和材料的區別
1、真(zhēn)空鍍膜的方法材料:
(1)真空蒸鍍:將需鍍膜的基體(tǐ)清洗後放到鍍膜室,抽空後將膜料加熱到高溫,使蒸氣達到約13.3Pa而使蒸氣分(fèn)子飛到基體表麵,凝結而(ér)成(chéng)薄(báo)膜。
(2)陰極(jí)濺射鍍:將需(xū)鍍膜的基體放在陰極對麵,把惰性氣(qì)體(如氬(yà))通入已抽空的室內,保持壓強約1.33~13.3Pa,然後將陰極接上2000V的(de)直流電(diàn)源,便激(jī)發輝光放電,帶(dài)正電的氬離子(zǐ)撞擊陰極,使其射出原子(zǐ),濺(jiàn)射出(chū)的原子通過惰性氣氛沉(chén)積到基(jī)體上形(xíng)成膜(mó)。
(3)化(huà)學氣相沉積:通過(guò)熱分解所選定的金屬化合物或有機化合物,獲得沉(chén)積薄膜的過程。
(4)離子鍍:實質上離子鍍係真空蒸鍍和陰極濺射鍍的有機結合,兼有兩者的工藝特點。表6-9列出了(le)各種鍍膜方法的優缺點。
2、光學鍍膜方法材料
(1)氟化鎂:無色四方晶係(xì)粉末,純度高,用其製光學鍍膜可提高透過率,不出崩點。
(2)二氧化矽:無色透明晶體,熔點高,硬度(dù)大,化學穩(wěn)定性(xìng)好。純度高,用其製備高質量Si02鍍膜,蒸發狀態好,不出現崩(bēng)點。按使用要求分為紫外、紅外及可見光用。
(3)氧化鋯:白色重質結晶態,具有高的折射(shè)率和耐高(gāo)溫性能,化學性質穩定,純度高(gāo),用其製備高質量氧化鋯鍍膜,不出崩點。
標簽:真空鍍膜電源
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