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真空鍍膜是一種產生薄膜材料的(de)技術。在真(zhēn)空室內材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物(wù)體的表麵上。
然而,真空鍍膜的先(xiān)決條件是要確保真空(kōng)腔室具有良好穩定的真空度。目前,真(zhēn)空鍍膜設備密封形式多采用(yòng)單根橡膠圈密封,這種密封形式適用於較小密封麵的密封,對於較大密封麵采用該(gāi)種密封方式容(róng)易出現密封效果不(bú)佳的問題。
提(tí)供一種安全可靠的真空鍍膜設(shè)備,本(běn)係統由真空鍍膜係統和手套箱係統集成而成,可在高真(zhēn)空(kōng)蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,並在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存(cún)放、製備以及蒸鍍後(hòu)樣品的檢測。
蒸發鍍膜與手(shǒu)套箱組合,實現蒸鍍、封裝(zhuāng)、等工藝全封閉製作,使整個薄膜生長和器件製備過程高度(dù)集成在一個(gè)完整的可控環境氛圍的係統中,消除有機大麵積電路製備過程中大氣環境中不穩定因素影響,保障(zhàng)了高性能、大麵積有機光(guāng)電器(qì)件和電路的製備。
標簽:真空鍍膜(mó)電源
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